Анализаторы влажности AMETEK серии 5900 UHP предназначены для определения влажности в сверхчистых газах, применяемых для производства электронных компонентов. В эту серию входят модели 5910 UHP и 5920 UHP.
Эти анализаторы могут быть использованы и для других приложений, где требуется прецизионное измерение влажности газов на предельно низком уровне.
Особенности
- Быстрый отклик
- Высокая чувствительность и точность
- Совместимость с большинством используемых газов, включая кислород, водород и их смеси
- Возможность проверки правильности измерений встроенным генератором влажности
Описание
Технология кварцевого кристалла
Анализаторы серии 5900 UHP определяют предельно низкую влажность в потоке газа, измеряя частоту колебаний кварцевого кристалла. При прохождении анализируемого влажного газа через измерительную ячейку вода сорбируется специальным покрытием кристалла, вызывая уменьшение частоты его колебаний. Затем ячейка продувается сравнительным газом, в качестве которого используется осушенный с помощью встроенного осушителя анализируемый газ. При этом сорбированная вода удаляется, а частота колебаний кристалла возрастает. Разность между «влажной» и «сухой» частотой пропорциональна содержанию воды в газе. Периодичность переключения потоков составляет 30 с, т. е. полный цикл измерения составляет одну минуту.
Внутренний эталон влажности
Уникальный встроенный генератор влажности позволяет пользователю быстро и просто проверить калибровку и убедиться в правильности показаний, не прерывая измерения и не выключая анализатор. Калибровочный газ — это полностью осушенный в специальном осушителе анализируемый газ, насыщаемый в генераторе определенным количеством воды. Результаты такой калибровки становятся доступными через несколько минут и подтверждают работоспособность анализатора и достоверность измерений. Анализатор также может быть оснащен встроенной системой автоматической установки нуля.
Расходы пробы, а также осушенного и калибровочного газов стабилизируются специальными капиллярами и не требуют регулировки.
Технические характеристики
| Диапазон | 0...1000 ppb (калиброванный до 170 ppb) |
| индикация тренда свыше указанного диапазона | |
| Единицы измерения | ppb, температура точки росы |
| Погрешность | ± 0,1 ppb или ± 10% от показания, что больше (для 5910 UHP) |
| ± 1 ppb или ± 10% от показания, что больше (для 5920 UHP) | |
| Чувствительность | менее 0,15 ppb (для 5910 UHP) |
| менее 1 ppb (для 5920 UHP) | |
| Время отклика | менее 10 мин для 63% ступенчатого изменения от 0 ppb до 10 ppb |
| Аналоговые выходы | два выхода: 4...20 мА, программируются пользователем для отображения любой части диапазона |
| Релейные выходы | Три реле для сигнализации ошибки системы, выхода за пределы калибровки, установленного диапазона (32 В, 1 А) |
| Интерфейс | RS-485 |
| Клавиатура | мембранная, 17 клавиш |
| Дисплей | флуоресцентный, 4 строки по 20 символов |
| Питание | 85...265 В, 47...63 Гц |
| Классификация взрывозащиты | Class I, Division 2, NEC |
| Требования к окружающей среде | 5...50 ° С, 0...90% относительной влажности без конденсации |
| Параметры пробы на входе в анализатор | давление на входе: 50...700 кПа, температура: 0...100 ° С |
| давление в измерительной ячейке и на выходе: атмосферное | |
| расход: 600 мл/мин (по 200 мл/мин для каждого из потоков газа: анализируемого, сравнительного, калибровочного) | |
| Габариты (Ш х В х Д) | 432х132х381 мм (настольный вариант) |
| 432х221х381 мм (для монтажа в стойку 19") | |
| Масса | 10 кг |
Информация для заказа
Стандартная поставка
- Анализатор влажности со встроенными осушителем и генератором влажности 50 ppbv
По дополнительному заказу
- Система автоматической установки нуля
- Преобразователь RS-485/RS-232 с блоком питания
- Комплект для монтажа газовой схемы: фитинги, клапаны, трубки, байпасный ротаметр
- Комплект деталей для монтажа анализатора в стойку 19″
Примечание: Для измерения влажности в более высоком диапазоне, для которого не применимы анализаторы серии 5900 UHP, можно использовать анализаторы серий 3050 и 5000. Работа этих анализаторов основана на том же принципе измерения, что и приборы серии 5900 UHP. Эти анализаторы могут поставляться во взрывозащищенном исполнении, что делает их применимыми в том числе и для анализа природного газа и водородсодержащего газа.
